[무기화학실험]Spin-coating 법에 의한 film 제조

목차

1. 실험목적
2. 시약 및 기구
3. 실험 원리
4. 실험 방법

본문내용

4. 실험 방법

● TiO2 용액 제조
1) AcAc 1.75g에 1-Propanol 1ml와 Ti(O-iPr)4 2.3443g을 넣는다.
2) 1분정도 stirring을 해준다.
3) Acetic acid 9ml를 첨가한다.

● 기판 준비
1) Pyrex glass를 준비한다.
2) Diamond cutter를 이용하여 2.5cm x 2.5cm 크기로 자른다.
3) 정확한 실험을 위해 Ethanol로 깨끗이 닦는다.

● Coating 하기
1) Spin coater의 정중앙에 준비한 기판을 올린다.
2) Spin 속도와 시간을 맞춘다. (각 조마다 rpm을 다르게 한다.)
3) Vacuum을 잡아준다,
4) 기판 위에 준비한 TiO2 Solution을 충분히 놓는다.
5) Start 버튼을 누르고 Coating이 시작된다.
6) Coating된 기판을 Hot-plate에 올려 증발시킨다. (100℃에서 5분동안 증발시킨다.)

참고 자료

없음