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진공장비의 leak과 gas, vapor

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최초 등록일
2015.05.12
최종 저작일
2015.05
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목차

1. REAL LEAK(air leak)
2. VIRTUAL LEAK
3. VAPOR
4. GAS

본문내용

챔버외부에서챔버내부로기체가유입되는현상ex) 챔버벽관통하는구멍(Hole), 용접부의결함,
배관연결부(Flange) 사이의틈, 가스킷또는오링의노후화,챔버의균열(Crack) 실제로기체가외부에서유입이되는실제누설(Real leak 또는Air leak)

<중 략>

챔버내부의벽또는장비에서기체(또는수분)가흡착된후진공상태에서방출되는현상ex) 로드락타입이아닌챔버를오픈한상태에서먼지 수분,산소등의대기성분기체분자들이챔버내부에흡착되어
진공상태가되었을때방출이진행.챔버내벽이나장비에서Outgassing에인한가상누설(Virtual leak)

<중 략>

일정압력하에서온도를낮춤또는일정온도하에서압력을증가시킴으로응축될수있는성질을가지는기체

참고 자료

없음

태그

#진공장비#REAL LEAK#VIRTUAL LEAK#vapor#GAS#반도체#공정

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