2주차 반도체의 비저항 및 면저항 측정

목차

없음

본문내용

비저항이란 단위단면적당 단위길이당의 저항을 말하며 물질마다 다른 값을 가지고 있다. 비저항의 단위는 이며, 저항이 비저항과 길이에 비례하며 면적에 반비례한다는 식을 통해 로 나타낼 수 있다. 전도도와 역수관계를 가지며 전도도는 으로 나타낸다.

<중 략>

반도체의 면저항과 비저항을 측정하기 위해 실리콘 웨이퍼 위에 두 개의 probe를 접촉하고 전압을 가하면 두 probe 사이에 전류가 흐르게 되고 이를 통해 저항의 크기를 알 수가 있다. 하지만 이 저항은 순수 면저항이 아닌 실리콘 웨이퍼와 probe 사이의 접촉저항인 와 전류가 흐르며 생기는 저항인 , 면저항인 의 세 저항을 합한 것으로 으로 나타낸다.

참고 자료

없음