진공 펌프 조사

목차

1. 로타리 펌프 Rotary pump

2. 고 진공 펌프
1) 크라이오게닉펌프
2) 이온스퍼터펌프
3) 터보분자펌프
4) 오일디퓨전펌프
5) 루츠펌프
6) 흡착펌프

본문내용

로타리 펌프 Rotary pump
대학실험실에서 가장 많이 사용되는 저진공펌프입니다.
위 그림에서와 같이 고정된 정지자(stator)가 있고 그 속을 회전자(rotor)가 회전하게 되는데, 회전자의 크기가 약간 작고 그 회전 중심이 정지자의 중심으로부터 약간 어긋나 있는 것이 특징이다. 그리고 회전자의 중심에는 판모양의 날개(vane)가 양쪽으로 팔을 벌리고 있는데 그 중앙이 용수철로 연결되어 그림에서 보듯이 회전자가 회전할 때 회전자와 정지자 사이에 공간이 생기지 않도록 막아주면서 회전하게 된다. 진공용기로부터의 흡입과정, 압축, 그리고 배기 과정이 있는데 아래 그림만으로도 그 원리를 짐작할 수 있으리라 본다.
Vane 이 정지자의 벽과 접촉하면서 회전하기 때문에 열이 많이 발생하나 피스톤펌프보다 낮은 최저도달압력을 실현할 수 있고(약 mTorr 정도) 배기속도는 1∼150 CFM 정도이며 약간 시끄럽다(보통 50 dB 이상). 동력전달이 기어형(gear type)은 약 1500∼2000 rpm 정도이고 벨트형(belt type)의 경우는 약 250∼400 rpm 이다.
그리고 벨트형의 경우는 정기적으로 벨트의 낡은 정도나 장력 등을 확인하는 것이 좋다. 진공작업도중에 벨트가 끊어지면 위험이 따를 수도 있기 때문이다. 로타리펌프의 경우 대부분 2 단계(stage) 과정을 채용하고 있다. 즉, 두 개의 pumping unit 가 직렬로 연결되어 있어 일단계 배기과정을 거쳐 배출된 개스가 대기 중으로 방출되지 않고 이단계 펌프의 흡입구로 들어가도록 설계되어 있어 일단계 펌프(single stage pump)보다 최저도달압력(ultimate pressure)을 더 내릴 수 있다. 특히 이 펌프는 오일을 많이 사용하는데 그 기능은 윤활제로서의 역할 뿐 아니라 펌프의 열을 밖으로 전달하여 식혀주고 또한 vane과 정지자 사이의 공간을 막아 기체가 새는 것을 방지도 하여 준다.

참고 자료

http://vkvltkfka.blog.me/80158849951
http://marriott.tistory.com/44
http://dohyuni1018.blog.me/80083230038
http://vkvltkfka.blog.me/80158849951?Redirect=Log&from=postView
http://www.kowel.com/01products/product04
http://scholar.ndsl.kr/schDetail.do
http://society.kisti.re.kr/journal/kj_view.jsp?kj=KJGHBI&soc=kvs&ndsl=y
http://dbpia.co.kr/view/p_view.asp?pid=766