진공 증착의 종류와 특징 레포트[A+자료]

소개글

<<해당 자료는 저작권이 있습니다. 다른곳에 유포시(네이버,다음 카페 등) 불법입니다. 처벌받으실 수 있으니 유의바랍니다. >>>
진공 증착의 종류와 특징 레포트[A+자료]
a+ 평가를 받은 자료입니다.

목차

1. 화학적 기상 증착(CVD)
1) 상압 화학적 증착(Atomospheric Pressure CVD, APCVD)
2) 저압 화학적 증착(Low Pressure CVD, LPCVD)
3) 플라즈마 화학적 증착(Plasma Enhanced CVD, PECVD)
4) 유기금속 기상 증착법(Metal-organic CVD, MOCVD)

2. 물리적 기상 증착(PVD)
1) 열증발 진공증착(Thermal evaporation deposition)
2) 스퍼터링 증착(Sputtering deposition)
3) 이온빔 보조증착(Ion-beam assisted deposition)

본문내용

반도체, OLED 등 우리 주변에서 ‘증착’을 이용하여 만들어진 제품을 많이 찾을 수 있다. 증착은 가정에서도 볼 수 있는데, 백열전구가 오래되면 필라멘트와 가까운 전구의 유리 벽이 검게 변하는 현상을 볼 수 있다. 또한 사용한지 오래된 형광등은 양쪽 전극 부위가 검게 변색이 되어있다. 이것은 전구나 형광등 내의 필라멘트가 가열되어 필라멘트의 원자나 입자가 증발하고, 그 증발된 원자가 유리벽까지 날아가서 달라붙었기 때문이다.
진공 증착(vacuum evaporation)이란 금속 또는 비금속 물질을 진공 속에서 가열하여 그 증기를 물체 표면에 박막 형태로 응착시키는 일 또는 화학적 방법에 의해 피막을 형성시켜 부착하는 공정을 말한다.

참고 자료

http://www.seongwooinst.com/
http://marriott.tistory.com/73
[네이버 지식백과] 진공 증착 [Vacuum Evaporation Coating, Vacuum Deposition] (도금기술 용어사전, 2000.6, 도서출판 노드미디어)
[네이버 지식백과] 진공 증착 [vapour deposition] (첨단산업기술사전, 1992.5.1, 겸지사)
기초 진공 공학, 김현후 저, 내하출판사, 2007.08.03