진공 증착의 종류와 특징 레포트[A+자료]
- 최초 등록일
- 2015.12.17
- 최종 저작일
- 2014.05
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진공 증착의 종류와 특징 레포트[A+자료]
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목차
1. 화학적 기상 증착(CVD)
1) 상압 화학적 증착(Atomospheric Pressure CVD, APCVD)
2) 저압 화학적 증착(Low Pressure CVD, LPCVD)
3) 플라즈마 화학적 증착(Plasma Enhanced CVD, PECVD)
4) 유기금속 기상 증착법(Metal-organic CVD, MOCVD)
2. 물리적 기상 증착(PVD)
1) 열증발 진공증착(Thermal evaporation deposition)
2) 스퍼터링 증착(Sputtering deposition)
3) 이온빔 보조증착(Ion-beam assisted deposition)
본문내용
반도체, OLED 등 우리 주변에서 ‘증착’을 이용하여 만들어진 제품을 많이 찾을 수 있다. 증착은 가정에서도 볼 수 있는데, 백열전구가 오래되면 필라멘트와 가까운 전구의 유리 벽이 검게 변하는 현상을 볼 수 있다. 또한 사용한지 오래된 형광등은 양쪽 전극 부위가 검게 변색이 되어있다. 이것은 전구나 형광등 내의 필라멘트가 가열되어 필라멘트의 원자나 입자가 증발하고, 그 증발된 원자가 유리벽까지 날아가서 달라붙었기 때문이다.
진공 증착(vacuum evaporation)이란 금속 또는 비금속 물질을 진공 속에서 가열하여 그 증기를 물체 표면에 박막 형태로 응착시키는 일 또는 화학적 방법에 의해 피막을 형성시켜 부착하는 공정을 말한다.
참고 자료
http://www.seongwooinst.com/
http://marriott.tistory.com/73
[네이버 지식백과] 진공 증착 [Vacuum Evaporation Coating, Vacuum Deposition] (도금기술 용어사전, 2000.6, 도서출판 노드미디어)
[네이버 지식백과] 진공 증착 [vapour deposition] (첨단산업기술사전, 1992.5.1, 겸지사)
기초 진공 공학, 김현후 저, 내하출판사, 2007.08.03