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기계공학응용실험 MEMS 실험 예비보고서

*성*
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최초 등록일
2016.03.17
최종 저작일
2014.10
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소개글

기계공학응용실험 예비레포트 입니다.

목차

1. 마이크로머시닝의 필요성 및 응용에 관하여 기술하시오.
2. 마이크로머시닝을 통한 미소기계소자의 제작방법에 관하여 기술하시오.

본문내용

1. 마이크로머시닝의 필요성 및 응용에 관하여 기술하시오.
mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고 있는 기술개발 과제명은 초소 형 정밀기계 기술개발이라 부르고 있다.
현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가 공상소설의 영역을 벗어나 이제 현실공학의 새로운 분야로 정착 되었다. 한마디로 말해 개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉 각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수mm에서 수nm까지에 이르며 수cm크기라 해도 마이크로 머신이라고 불리는 경우도 있다.
마이크로 머신의 아이디어가 제창된 초기에는 혈관 내를 돌아다니면서 환부를 치료할 수 있는 기계에 대한 구상도 있었다. 허나 지금 기존의 기계를 단순히 축소해야 마이크로 머신이 되리라는 생각은 이제 과거의 것이 되었다. mems란 마이크로머신이 느끼고 생각하며, 운동 하는 시스템을 일컫는다.

<중 략>

* 자동차분야 - 1970년대의 석유 파동이후 미국ㄷ에서는 자동차 연비를 높이는 장기계획을 세우고 미국 내에서 판매되는 모든 차량에 대해 연비와 배기가스에 대한 규칙을 강화하기 시작하였다. 이러한 요구에 부응하기 위해 자동차의 공기대 연료비의 비율을 최적화하기 위한 압력센서에 대한 개발이 미국의 3대 자동차회사에서 시작되었다. 그중 GM사의 자회사인 Delco 전기회사는 최초로 양산체제로 저가의 압력센서를 제작하기 시작했고 현재는 자동차에 장착하는 압력센서를 매년 100만개 이상을 생산하는 세계 최대의 실리콘 압력센서 생산업체가 되었다.

참고 자료

없음
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