Microlens array photography and reflow report(레포트/보고서) - 설계및생산공학2 (2014)

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본문내용

먼저, 마스크 기판에 PR(Photo resist)을 균일하게 도포한다. PR이 도포된 마스크 비판 위에 micro size의 원이 그려진 mask를 올리고 노광을 시킨다.
PR은 빛에 반응하는 물질인데 이때 노광을 통해 mask로 가려진 부분을 develop할 수 있게 된다. 이를 간단하게 표현하면 다음과 같다.
이번 실험에서 이용한 positive resist를 예시로 다음 과정의 원리를 살펴보자. 높이가 매우 낮은 원통형의 PR이 형성된 기판을 hotplate위에 올려준다.
그러면 원통형의 PR island가 살짝 녹게 되고 표면장력에 의해 렌즈모양으로 바뀌게 된다.
이것을 thermal reflow라고 한다.

2. 실험 결과 분석 및 고찰
실험 결과는 다음과 같다. 아래 그림이 만들어진 microlens array이다.
왼쪽 그림은 노광 후 development가 끝난 PR island상태이다.
보이는 바와 같이 아주 얇은 원통 형상이기 때문에 원형의 PR만 보인다. 오른쪽 그림은 reflow가 끝난 상태이다.

참고 자료

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