[재료실험] EBSD 분석실험

목차

1. EBSD 분석
2. 실험과정
3. 실험결과 및 토의
4. 참고자료
5. 참고의견

본문내용

1. EBSD 분석
과거에는 대부분 집합조직에 대한 연구를 할 때 X선 회절을 이용하거나 투과 전자 현미경을 이용하였다. 물론 이러한 방법을 이용한 측정이 유용한 정보를 제공해 왔으나 한 편으론 많은 제약조건이 따르기도 하였다. 최근에 이러한 제약을 극복한 새로운 측정기술이 등장하였는데 이것이 바로 SEM을 이용한 EBSD이다. 이 방법은 재료의 표면에서 산란하는 전자빔을 이용하여 시편 좌표에 대한 조사 영역의 결정방위를 결정하는 방법이다. 분해능의 측면에서는 X선 회절기와 TEM의 중간정도에 위치하고 TEM에 비해 시편준비 및 측정영역에서 유리한 점을 가지는 SEM을 이용하여 이전에 분석이 힘들었던 재료도 많이 연구되고 있다.

(1) Misorientation Angle/Axis
두 결정립들 간의 방위관계를 표현하기 위해서는 두 개의 방위와 하나의 각을 정해야 하고 이것은 어긋남 각, 축과 입계 면의 방위를 통해서 표현가능하다. 이 때 어긋남 각, 축이 바로 misorientation angle/axis이다. 어긋남 각, 축의 값은 어긋남 행렬을 통하여 구할 수 있다. 여기서 어긋남 행렬이란 한 결정립 방위에서 기준 결정립으로의 회전 변 환을 나타내는 행렬을 말한다.
결정의 대칭성에 의해 여러 개의 좌표계를 선택할 수 있는데 이 때 여러 회전각/회전 축 중에서 회전각이 최소가 되는 값을 어긋남 각으로 정한다.

(2) CSL(Coincidence site lattice)
많은 회전각/회전축 중에서 어느 특수한 회전각/회전축이면 두 결정립들에 의하여 공 유하는 격자가 생기는 데 이 공유 격자를 CSL이라고 한다. 그리고 단위 부피 당 격자 수에 대한 CSL의 비율의 역을 이라 한다. 그리고 CSL값 또는 값이 재료의 성질을 제어한다고 알려져 있다.

참고 자료

[1] EBSD 파워포인트자료
[2] 워드 참고자료