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[박막공학 진공장비] 진공이론

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최초 등록일
2003.07.08
최종 저작일
2003.07
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목차

vacuum concept
vacuum production
vacuum measurement
vacuum material

본문내용

Definition
- 일정한 공간에 존재하는 공기를 제거한 상태
- 현실적으로 전혀 공기가 존재하지 않는 진공 용기를 얻는 것은 불가능

Effect of vacuum
- 기체의 영향에 의한 부식 산화 등을 방지
- 물질의 끓는점을 낮추어 조기에 증발 시킴
- 양자 등과 같은 하전 입자 주위 공기 분자 충돌이 작아지므로 콘트롤이 용이
- AES, XPS 등의 박막표면 분석 장비- 표면상태에 매우 민감

Unit of vacuum

- 일정 용기의 부피 속에 기체 입자의 수는 압력에 비례하므로 일반적으로
진공상태를 압력을 통해 나타낸다.

참고 자료

vacuum technology
basic vacuum practice
basic vacuum

태그

#vacuum#pump#Gauge#진공#MFC

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