아주대학교 자동제어 압력센서 설계 보고서

목차

1. 설계 목표
2. 시스템 구성요소
3. 설계사양
4. 설계 변수
5. 설계 시 고려할 사항
6. 설계 내용
7. 설계 이론
8. 설계
9. 출처

본문내용

1. 설계 목표
- 측정 압력 범위를 만족하는 박막 압력 센서 설계
- 감도를 만족하도록 하는 증폭회로 설계

2. 시스템 구성요소
- 1쌍의 반경방향 스트레인 게이지와 1쌍의 원주방향 스트레인 게이지로 이루어지는 브리지 회로
- 증폭회로 (필터는 생략함)

3. 설계사양
- 측정 압력 범위: 0~200 kPa
- 인가 전압 : = 5V
- 감도: 4mV/kPa 이상

4. 설계 변수
- 박막의 재료, 직경과 두께
- 스트레인 게이지의 재료 및 각각의 위치와 크기

5. 설계 시 고려할 사항
- 최대 압력 인가 시 발생되는 최대 응력이 항복 강도보다 충분히 작도록
- 박막 변형의 비선형성을 고려하여 박막 중심의 변위가 박막의 두께의 1/4이하가 되도록

참고 자료

최시영, "반도체 압력 센서 활용", 제어계측, pp. 13-19, 2003.
T. Ishihara, K. Suzaki, S. Suwazono, M. Hirata, and H. Tanigawa,“CMOS integrated silicon pressure sensor,” IEEE J. Solide-state Circuit,Vol. SC-22, pp. 151-156, 1987
위키백과 검색결과 ‘항복강도’, ‘스트레인 게이지’