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반도체 제조공정 및 동향 [ex)웨이퍼,식각,금속배선,EDS,]

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최초 등록일
2016.11.15
최종 저작일
2015.12
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목차

1. 반도체 개요
2. 반도체의 제조
3. 반도체 공정의 변화

본문내용

1. 반도체 개요
반도체 산업은 전자, 통신, 정보사업 부문과 함께 두드러진 발전과 성장을 기록하고 있는 산업으로 정보화 사회 진입과 첨단산업 발전의 핵심요소일 뿐만 아니라 재래산업의 생산성 향상과 고부가가치화를 위한 필수적은 요소부품으로써 그 수요가 급속히 확대, 다양화되고 있다. 반면 막대한 설비투자가 요구되며, 기술자체의 연구개발 투자가 소요되어 매출액 대비 연구개발 투자가 타산업보다 현저히 높은 특징을 가지는데 이것은 반도체 자체가 그 제조 과정이 아주 민감한 제품이기 때문이다. 또한 기술혁신의 속도가 빠르며 제품의 수명 주기가 타 산업에 비해 매우 짧은 특성을 가지고 있다.
반도체는 크게 다이오드, 트랜지스터, IC(integrated circuit: 직접회로)등 여러 가지가 있는데 전자제품을 만드는 기본 요소가 된다고 해서 보통 반도체 소자라고 부른다. 다이오드는 가장 간단한 반도체 소자로 P-N접합으로 되어있고 교류를 직류로 바꾼다거나 전파에서 소리를 끄집어 내는 검파 작용을 한다. 트랜지스터는 P-N-P 또는 N-P-N 식이 있으며 작은 신호를 크게 하는 증폭작용을 한다. 이러한 개별 소자와는 달리 소자들을 모아 놓은 집적회로는 저장 또는 기억과 연산의 역할을 한다. 트랜지스터나 다이오드를 개별소자라고 부르는 것에 비해 소자들을 모은 반도체를 집적회로라고 한다. 집적회로는 플래너(Planar) 기술이 개발된 이래 눈부시게 발전하였다. 플래너 기술이란 웨이퍼라고 하는 평평한 반도체판 표면에 트랜지스터 등이 소자를 새겨 넣는 것을 말한다. 이 집적회로 기술에는 사진기술이 밀접하게 연관되어 있다. 인화지에 해당하는 웨이퍼 위에 필름 역할을 하는 마스크를 놓고 빛대신 자외선을 쬐어 아주 정밀하고 복잡한 회로르 새겨 넣는 것이다. 이러한 집적회로는 정보의 저장과 연산 등의 역할을 한다.

<중 략>

[1] 쉽게 성장이 가능한 물질
쉽게 자라는 결정은 보통 핵형성 시에 결함이 많이 생기지 않으며 성장과정에서도 외부의 변수에 향을 많이 받지 않 고 수 센티미터의 크기로 자란다.

참고 자료

없음

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