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실리콘 웨이퍼 세정 공정

Markjo
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최초 등록일
2018.05.24
최종 저작일
2016.11
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목차

없음

본문내용

태양전지의 제조공정을 대략적으로 알아보면,
1. 세정 및 웨이퍼 표면 가공
2. 에이터 형성
3. 도핑시 형성된 산화막 제거
4. 반사방지막 형성
5. 금속전극 형성
6. 금속전극 소성
7. p-n 접합 측면 분리
8. 태양전지 특성 검사 및 분류
여기서 태양전지에 영향을 주는 요인으로는 1.웨이퍼 기판의 품질, 두께, 소수 반송자 수명시간, 2. 웨이퍼 세정 및 택스쳐 구조와 균일도, 3. 에미터 층 표면 농도와 접합의 깊이 4. 표면 프로시베이션, 5.반사방지막의 광학적 투과도, 반사도, 흡수도, 그리고 굴절률과 두께. 6. 전극의 표면적 차광손실 정도, 전극접합의 접촉저항을 포함한 직렬저항 성분 등이 있다. 앞에서 말한 6가지 방법을 최적화된 상태로 동시에 구현해야 하며, 어느것 한가지만으로 효율이 하락 할 수 있다.
이번에 알아 볼 것은 태양전지의 성능과 신뢰성 및 생산 수율은 제작시 사용된 웨이퍼 표면에 존재 하는 불순물들에 의하여 많은 영향을 받는다.

참고 자료

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Markjo
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