SAM 결과보고서

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4. 시약 및 기기
Silicon wafer, Acetone, Plasma, ODTS 50㎕, Ethanol 20ml, Petri dish, Toluene, Contact angle

5. 실험방법
① Silicon wafer(2x2cm)를 Acetone 및 IPA에서 각각 15분간 초음파 처리
② 표면 Plasma 5분 or UV/O₃ 20분 처리
③ ODTS 50㎕, Ethanol 20ml가 담겨있는 Petri dish에 20분처리
④ 120℃에서 20분간 열처리
⑤ Toluene에 5분간 초음파 세척 후 표면을 닦아냄
⑥ Contact angle로 표면 성질을 확인

6. 실험 결과
(1) bare wafer CA= 48.52° (2)UV/O₃ 처리 후 CA=25.5° (3)SAM형성 후 CA=111.9°

7.결론 및 고찰
● Contact angle 결과를 보면 각도가 다 다름을 알 수 있다.

참고 자료

없음

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