플라즈마 응용

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3. 플라즈마 응용에 대하여 설명하시오.

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우주나 자연에서만 관찰되던 플라즈마를 실생활에 응용하기 시작한 것은 19세기 전지 아크에서 발생하는 빛을 광원으로 사용하는 아크 등이 등장하면서부터 라고 할 수 있다. 그러나 효율성과 편리성을 갖춘 백열전구의 등장으로 높은 직류전류를 수송하여 사용하는 아크 등은 점점 사라지게 되었지만, 방전을 시작으로 플라즈마 연구는 19세기 말 원자물리학이 발전하면서 탄력을 받아 1940년대 제2차 세계대전을 계기로 레이더가 개발되면서 마이크로파를 이용해 플라즈마를 만들어낼 수 있게 되었다. 1950년대부터는 핵융합 연구에 플라즈마가 이용되면서 큰 발전을 이루었고, 산업계에서는 1960년까지 플라즈마에 대한 대부분의 관심을 가스 방전레이저와 램프 개발에 두었다가 점차 반도체 분야에서 플라즈마를 응용하기 시작했다. 플라즈마는 기체나 액체 상태보다 훨씬 활발한 반응을 갖는 재료를 기판에 공급할 수 있고, 내부는 항상 높은 전기에너지를 유지하기 때문에 불가능했던 여러 공정을 가능케 하였다.

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