키프리스 출원사례

목차

1.산업용기기의 관리시스템 및 관리방법
2. 발명이 속하는 기술 및 그 분야의 종래 기술
3.발명이 이루고자 하는 기술적 과제
4.발명의 구성 및 작용
5.청구의 범위
6.도면

본문내용

발명이 속하는 기술 및 그 분야의 종래 기술
본 발명은, 산업용기기를 관리하는 관리시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체디바이스를 제조하는 투영노광장치는, 회로가 미세화되고 고밀도화 되면서 레티클표면위의 회로패턴을 웨이퍼표면위에 고해상력으로 투영하고 노광할 수 있는 것이 요구된다. 회로투영 및 해상력은 투영광학계의 개구수(NA)와 노광파장에 의존적이다. 따라서, 해상력을 개선하기 위하여, 투영광학계의 NA를 증가시키는 방법 또는 노광파장을 단축하는 방법이 채용되었다. 후자의 방법에 대하여, 노광광원은 g선에서 i선으로 변화되었고, 현재 i선에서 엑시머레이저로 변화되고 있다. 엑시머레이저에 대하여, 248nm나 193nm의 발진파장을 사용한 노광장치가 이미 실용화되어 있다. 현재는, 157nm의 발진파장을 가진 차세대노광장치가 검토되고 있다.
회로패턴의 미세화에 따라서, 회로패턴이 형성된 레티클과, 회로패턴이 투영된 웨이퍼는 정밀하게 정렬되어야 한다. 요구된 정밀도는 회로선폭의 1/3이다. 예를 들면, 현재의 180nm디자인에 있어서, 필요정밀도는 1/3, 즉 60nm이다. 또한, 디바이스구조의 다양성이 제안되었고, 그들의 제품이 검토되고 있다. 퍼스널컴퓨터 등의 이용이 확산됨에 따라, 미세화의 트랙터는 DRAM으로 대표되는 메모리에서 CPU칩으로 이동해 왔다. IT의 성장에 따라서, 가정내 와이어레스랜(home wireless LAN) 또는 블루투쓰(Bluetooth)라 칭하는 통신시스템용 디바이스, 24 내지 38GHz의 주파수를 이용하는 LMDS(Local Multipoint Distribution Services)나 77GHz의 주파수를 이용하는 자동차용 레이더로 대표되는 ITS(Intelligent Transport System)에서 사용된MMIC(Millimeter-wave Monolithic Integrated Circuits) 등의 개발은, 미세화를 한층 장려한다. 또한, 반도체디바이스의 제조공정도 다양하다. 노광장치의 심도부족의 문제를 해결하는 평탄화기술

참고 자료

없음