SEM,TEM의 차이에 대한 보고서

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소개글

"SEM,TEM의 차이에 대한 보고서"에 대한 내용입니다.

본문내용

먼저 SEM과 TEM의 원리에 대해서 간단하게 설명하겠다. 먼저 TEM은 투과전자현미경으로써, 전자선을 사용하여 시료를 투과시킨 전자선을 전자렌즈로 확대하여 관찰하는 전자현미경이다. 전자선이 시료를 투과할 때에 생기는 산란대조와 위상대조에 따라서 상의 대조를 얻어내 시편의 정보를 얻어내는 현미경이다. 또한 시편의 두께에 따른 깊이분석도 가능하므로, 두께차이에 따른 명암상도 얻을 수 있고, 시료를 투과하며 발생하는 전자선의 회절을 통해 원소 내부의 정보도 얻을 수 있다. 반면, SEM은 주사전자현미경으로, 전자빔을 시료표면에 주사하게 되면, 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해 발생되는 이차전자 혹은 후방 산란 전자를 이용하여 시료의 표면을 분석하는 장비이다. 깊이 분석은 힘들다. 모두 전자빔을 이용하므로, 높은 진공상태가 요구된다.

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없음

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