진공펌프, 진공게이지, 쵸크랄스키 방법 ppt

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목차

1. 진공의 필요성
2. 진공펌프, 진공게이지
3. 쵸크랄스키 방법

본문내용

진공(vacuum)이란?
- 물질이 전혀 존재하지 않는 공간
(실제로는 아무것도 없는 상태를 만들기 불가능)
‘ 대기압 보다 낮은 상태의 압력＇

.반도체 특징
반도체는 기술의 발전에 따라 점점 작아짐
→ 작은 먼지와 작은 공정의 변화에도 민감하게 반응
Ex) 나노 수준의 셀에 마이크로 수준의 먼지가 끼어 있다면?? 제대로 작동할 수 있을까?

진공의 필요성
.극도로 청정한 환경
.고순도의 공정 환경
.박막의 증착 효율 높임
.박막과 기판 사이 접합력 향상
.박막의 물리적/화학적 특성제어

진공펌프(진공장비)
가스 배출식
로터리
루츠
오일 확산
터보 분자

가스 포집식
저온 냉각
이온

로터리 베인 펌프
장점 – 수명이 20년 이상으로 김
단점 – 소음 발생, 겨울철 오일이 얼면 작동 불가

루츠 펌프
장점 – 다량의 공기를 배기, 오일을 사용하지 않아 오염이 없음
단점 – 독립적으로 사용하기 부적합

오일 확산 펌프
장점 – 소음/진동 없음, 사용이 간편
단점 – 충분히 냉각되지 못하면 역류 위험

참고 자료

없음