주사전자 현미경(SEM)의 기본원리와 특징

소개글

광학현미경에서 전자현미경으로의 시대흐름,
대표적인 전자현미경 SEM의 기본원리와 특징에 대한 보고서이다.

목차

1. 서론
2. SEM의 기본 원리
3. SEM의 특징

본문내용

미세구조를 확대 관찰하는 현미경은 광학현미경부터 시작하여 과학기술이 발전함에 따라 나날이 진화해나갔다.

1873년 물리학자 어니스트 아베(Ernest Abbe)가 밝혀낸 식에 따라 ‘분해능은 파장에 비례하다’는 사실을 얻게 되었고, 이 식에 따르면 가시광선(최소가 약 400nm)을 사용하는 광학현미경의 분해능은 200nm정도가 최선의 값이었다. 또한 이 정도의 분해능으로 확실하 게 물체를 확대해 볼 수 있는 배율은 약 3,000배가 한계이다.

이때 전압으로 가속 된 전자(약 0.1nm의 파장)를 이용한다면 훨씬 더 높은 분해능을 얻을 수 있었고, 1935년 맥스크놀(Ma x knoll)과 에른스트 루스카(Ernst Ruska)는 최초의 투과 전자현미경(TEM)을 개발하였다.

참고 자료

없음