진공공학-진공증착.,진공펌프,진공펌프2-레포트

소개글

"진공공학_진공증착.,진공펌프,진공펌프2_레포트"에 대한 내용입니다.

목차

1. 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump)
2. 스퍼터 이온 펌프(Sputter Ion Pump)
3. 크라이오 펌프 (Cryo Pump)

본문내용

펌프란 전동기나 내연기관 등의 원동기로부터 기계적 에너지를 받아서, 액체에 운동 및 압력에너지를 주어 액체의 위치를 바꾸어 주는 기계입니다. 펌프의 작동 원리에 따른 분류로는 크게 positive displacement 펌프와 entrapment 펌프로 나눌 수 있습니다.
positive displacement pump : 기체를 진공 용기 외부로 제거하는 펌프로 rotary vane pump, turbo-molecular pump 등 대부분의 기계적인 펌프가 이에 속합니다.
entrapment pump : 배기시킨 기체가 여전히 진공 용기나 펌프 속에 남아 있는 경우입니다. capture pump 라고도 부르며 진공 용기 내부의 공간으로부터 기체분자 수를 제거하기만 하면 압력이 낮아지므로 이런 것들도 펌프라고 부를 수 있습니다. sorption pump 나 cryo pump, ion pump가 이에 속합니다.

1. 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump)
터보 분자 펌프는 블레이드의 회전에 의해 분자에 momentum transfer가 일어나고 이때 분자가 원하는 방향으로 튀어 나감으로써 배기가 이루어진다는 간단한 원리를 가지고 있다.

참고 자료

https://marriott.tistory.com/47?category=338839
https://marriott.tistory.com/46?category=338839
https://m.blog.naver.com/PostView.nhn?blogId=youngdisplay&logNo=221244563265&proxyReferer=https:%2F%2Fwww.google.com%2F

압축파일 내 파일목록

진공증착레포트.hwp
진공펌프2레포트.hwp
진공펌프레포트.hwp