[재료공학] 박막 기초

목차

진공
공업적으로 진공이 필요한 이유
기체분자의 운동에너지
평균자유 행로
방전
글로우방전
아크방전
플라즈마
플라즈마 시스

본문내용

○플라즈마
1.최외각 전자가 궤도를 이탈 →자유전자가 되어 양전하를 띄게 됨
2.분자 혹은 원자와 음전하를 갖는 전자가 생성
3.양전하의 이온과 전자들이 다수가 모여 전체적으로 전기적인 중성
4.구성된 입자들의 상호작용에 의해서 독특한 빛을 방출
5.입자들의 활발한 운동 때문에 높은 반응성을 갖게 됨
6.이러한 상태를 이온화한 기체 또는 플라즈마라고 함.
플라즈마 중에는 이온, 전자 외에 들뜸상태의 원자ㆍ분자 혹은 분자의 해리로 생긴 중성의 라디칼 등이 존재함
들뜬 원자나 분자가 바닥상태로 복귀하는 과정에서 원자 고유의 발광이 생긴다. 플라즈마는 이온화와 재결합이 평형상태에 있는 입자 집단임

참고 자료

없음