[A+ 보장] 일립소메트리의 실리콘 시편의 특성 분석 및 비교

소개글

"[A+ 보장] 일립소메트리의 실리콘 시편의 특성 분석 및 비교"에 대한 내용입니다.

목차

I - 실험 결과
II - 분석 및 토의
III - 실험 결론
IV - 참고 문헌

본문내용

II - 분석 및 토의
가. 실험결과
실험의 결과 값은 2번 편광기의 각도를 10도 씩 돌려서 측정한 출력 전압 값을 각도에 대비한 값으로 구하면 대부분 땅콩 형태의 모양이 나오게 된다. 본 실험에서 출력 전압이 의미하는 것은 측정기기에 얼마나 많은 양의 빛이 들어갔는지를 의미하게 되고 따라서 엑셀 데이터에서 출력값이 원점에서 멀어지면 멀어질수록 빛을 많이 받았음을 알 수 있고 반대로 원점에 가까울수록 적은 량의 빛을 받았음을 알 수 있다. 가장 적은 양의 빛을 받은 부분은 p파가 가장 많이 투과된 지점으로 해석할 수 있다. 즉, 빛이 가장 적게 받은 곳이 Brewster각으로 해석할 수 있다. 특이하게 시편B에서는 육안으로 확인할 수 있듯이 출력 전압 값이 0에 가까운 부분이 보임을 확인할 수 있고 이는 후술할 단층 박막의 특성에 대한 영향으로 해석할 수 있다.

참고 자료

안일신/ellipsometry/한양대학교출판부/34p~37p, 44p~54p, 68p~82p,