[전자현미경] 전자현미경

목차

1. 전자현미경과 광학현미경의 구조와 원리 비교
2. 렌즈의 각종 수차(aberration)
3. TEM의 분해능(Resolution)
4. 역격자(reciprocal lattice)
5. 정대축(zone axis)
6. Ewald Sphere
7. 전자와 시료와의 상호반응에 따른 형성
(a) 2차 전자(secondary electron)
(b) 특성(characteristic) X-선

본문내용

1. 전자현미경과 광학현미경의 구조와 원리 비교
투과 전자현미경은 표본을 투과한 전자선의 산란으로 생기는 희고 검은 화상을 그려내는 장치를 말한다. 즉, 이 장치는 광학현미경의 원리를 그대로 발전시킨 현미경이다. 따라서 투과전자현미경의 상, 즉 TEM상은 입체적인 상이 아니고 평면상 또는 단면상으로 이차원상이다.
주사전자현미경은 전자선으로 표본의 표면을 TV의 주사선과 마찬가지로 주사하여 그 표본의 표면에서 발생하는 전자 즉, 2차 전자를 검출해서 그 신호를 브라운관(CRT)에 화상으로 볼 수 있는 장치이다. 따라서, 주사전자현미경의 상, 즉 SEM상은 입체적인 상 다시 말하면 3차원의 상이다. 이들 두 가지 타입의 전자현미경은 모두 표본을 진공으로 한 표본실에 넣어 육안으로 볼 수 없는 전자선을 사용하여 형광판에서 발광하는 화상은 흑백이다.
투과전자현미경의 표준적인 장치는 경통에 있는 전자총에서 약 10만 볼트로 가속한 전자선을 집속해서 얇게 자른 표본을 투과시킨다. 이 상을 전자렌즈(대물렌즈)로 차례(중간렌즈)로 확대시켜 형광판 위에서 화상을 관찰하고 필요한 부위를 사진 촬영한다. 초점 맞추기는 전자렌즈를 흐르는 전류를 변화시킨다. 그러나 전자선은 투과력이 매우 약하기 때문에 표본의 두께가 100㎚를 넘으면 화상이 어두워져 내부의 구조가 보이지 않게 된다. 그렇게 투과 전자현미경에서는 표본을 얇게 자르기 위해서약 150만 배의 배율을 가진 100만 볼트 혹은 그 이상의 고압의 전압을 이용한 초고압 전자현미경이 소개되고 있다.

참고 자료

없음