[icp-ms] ICP-MS (유도결합 플라즈마 질량분석법)

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기본 원리

Ar 가스를 induction coil로 둘러쌓인 Torch로 흘려보내고 고주파를 걸어주면 고온(최대 약 8000K)의 Ar 플라즈마 형성.

이 플라즈마에 용액시료를 작은 입자상태로 분무.

이 때 전 원소중 약 70%에 해당되는 원소들은 90% 이상의 효율로 1가의 양이온으로 하전됨.

하전된 입자는 단계적으로 진공도가 낮아지도록 설계된 경계역을 지나 종국에는 진공도가 약 10-6mbar에 달하는 질량분석기에 연결되어 분석됨.

참고 자료

영린기기 홈페이지 http://www.younglin.co.kr

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