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반도체 8대 공정 정리

*희*
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2024.06.09
최종 저작일
2022.04
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본문내용

Ⅰ.웨이퍼 제조 – POLY SILICON STACKING
.반도체용 실리콘 웨이퍼의 원재료인 다결정 실리콘을 석영 도가니에 조밀하게 채워 넣는 공정
.모래에서 추출한 실리콘은 반도체 원료로 쓰이기 위해 정제과정이 필요
.다결정 실리콘을 녹여 고순도의 실리콘 용액을 만듬
.단결정 실리콘 기둥, 즉 잉곳(Ingot)으로 성장시킴
.실리콘결정 성장 기술을 초크랄스키법(Czochralski) 사용: 결정성장.장치를 이용하여 도가니로 다결정 실리콘을 용해 및 서서히 끌어 올려 성장시키는 방법

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