[재료공학] zone model

소개글

재료공학의 박막분야에서 박막성장의 가장 기본이 되는 존모델에 관련된 내용을 간략하게 정리했습니다.

목차

1. Introduction

2. Movchan & Demchishin's Zone Model

3. Thornton's Zone Model

4. Other effects to grain structure

5. Summary

본문내용

박막을 얻기 위해서는 일반적으로 CVD, PVD 또는 sputtering등과 같은 증착법을 이용한다. 증착법에서는 작은 입자를 substrate에 쏘아서 박막을 입히게 되는데, 박막이 형성되는 초기에는 박막에서 특징적인 grain structure의 거동을 보이게 된다. 이를 설명하기 위한 모델이 "Zone Model"이다. Zone model은 박막의 thickening 단계에서의 거동을 핵성장 된 island 또는 film에서의 self-diffusion현상과 계면에서 일어나는 self-diffusion에 의해 제어된다고 가정하며 그 요인에 따라 zone-model을 구분할 수 있다.

참고 자료

없음