[반도체이론] 박막두께 측정방법

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목차

1.박막이란?

2.박막두께

3.박막두께 측정법 개요
1) 칭량법
2) 전기적 방법
3) 광학적 방법

본문내용

박막이란 어떤 특정의 기판 위에 부착 또는 성장시킨 것을 말하며 막 두께란 기판의 단위 면적당 박막의 퇴적량을 나타내는 지표가 된다. 박막의 성장은 초기단계부터 일관되게 2차원적으로 균일하게 벌크 재료와 같이 유지되면서 진행되는 것은 아니고, 초기 단계에서 몇 가지 형태로 분류되어 진행되며, 박막의 구조나 결정성이 두께변화와 함께 변화하는 한편, 증착 방법에 따라서도 달라지게 된다.막의 두께는 막의 특성을 결정하는데 가장 중요한 인자 중의 하나이다. 막의 특성을 파악하기 위해서는 그 두께를 측정하는 것이 중요하다. 그래서 두께를 측정하는 방법이 다양하다. 작은 면적의 두께라도 위치에 따라. 또 측정하는 방법에 따라 그 값이 다르므로 가능한 여러 가지 방법으로 측정해서 그 값의 평균값을 택하는 것이 옳다. 막이 다 완성된 뒤에 측정하는 것과, 막이 형성되는 과정을 모니터링하는 방법이 있다. 막의 형성과정을 모니터링 하는 것은 막의 성장속도를 관찰하고 통제할 수 있게 해준다.이와 같은 방법에는 칭량법, 전기적 방법, 광학적 방법, 그리고 그 외의 방법이 있다. 모니터링 법에는 측정위치기 기판 자체가 아니고, 다른 위치에서 관찰하는 것으로서 사전에 예비 실험을 통해 그 두께비를 측정해 두어야 한다.

참고 자료

<박막공학의 기초(최시영, 2002, 일진사)> <표면공학(김선규, 2003, 斗陽社)>