[공학실험] 양극희생실험

목차

1. xps란?
2. xps의 기본원리
3. 진공펌프의 종류
4.참고문헌

본문내용

2. xps의 기본원리
모든 원소들의 전자는 K각, L각 등 각(Shell)구조를 이루고 있으며, 그 내각 전자들은 각기 독특한 에너지준위(결합에너지)를 가지고 있다. 예를 들어, 산소의 1s 전자는 결합에너지가 531eV이고 탄소의 1s 전자의 결합에너지는 284eV, 실리콘 원자의 2p 전자는 99eV이 결합에너지를 가지고 있다. 이와 같이 각 원소마다 내각 전자들의 결합에너지가 다르기 때문에, 내각 전자들의 결합에너지를 측정하면 어떤 원소가 있는지를 유추할 수 있다. 이것이 XPS(X-ray Photoemission Spectroscopy)에서 물질의 성분을 알아낼 수 있는 원리이다. 그러면 내각 전자의 결합에너지는 어떻게 측정할 수 있을까? XPS 방법에서는 원소에 X-ray를 쏘여주어, 광전효과(Photoelectric effect)에 의하여 튀어나오는 내각 전자의 운동에너지를 측정함으로써 알아낸다. 즉 정해진 에너지(hν)의 X-ray를 자료에 쏘여주고, 튀어나오는 전자의 운동에너지 Ek를 측정하면, 그 전자의 시료 내에서의 결합에너지 EB는 에너지 보존법칙에 의하여
EB= hν-Ek
의 식으로 주어진다. 이렇게 측정된 전자의 결합에너지와 알려진 원소들의 내각전자 결합 에너지를 비교함으로써, 그 전자가 어느 원소의 어떤 내각으로부터 나왔는지 알아낼 수 있고, 따라서, 시료 내에 존재하는 원소성분을 알 수 있는 것이다.

참고 자료

없음