[화학] 진공펌프 화학실험

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목차

1. 진공도에 따른 진공 영역의 구분 및 사용영역

2. 진공펌프의 종류

3. 진공펌프의 원리
① 로타리 베인 펌프
② 로타리 피스톤 펌프
③ 로타리 기어펌프
④ 피스톤 펌프
⑤ 다이아 후렘 펌프
⑥ 루츠 펌프
⑦ 수봉식 펌프
⑧ 터보 분자 펌프
⑨ 확산펌프
⑩ 이젝타 펌프
⑪ 흡착펌프
⑬ 게터펌프
⑭ 승화펌프
⑮ 저온냉각펌프

본문내용

3. 진공펌프의 원리
이와 같이 진공펌프의 종류가 여러 가지로 구분되고 있는 것은, 각 펌프의 작동 원리가 서로 다르고, 이에 따라 펌프의 최대 진공도 및 쓰이는 용도가 각기 다르기 때문이다.
진공펌프를 종류 별로 상세히 설명하기 위해서는 각 종류마다 한 권 씩 책을 써도 모자랄 정도로 많은 지면이 요구되고, 또 유체공학 및 기계공학적인 전문 지시기 없이는 이해하기 함든 면이 많으므로, 여기서는 상세한 기술은 피하기로하고, 각 펌프의 기본 작동 원리만 간략하게 설명한 다음 중요한 특성만을 열거해 보기로 하겠다.

① 로타리 베인 펌프
일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프이다. 내부 구조가 로타 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로타의 중심과 실린더의 중심은 편심되어 있다
베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이 새기게 되고, 이 공간은 로타의 회전에 따라 용적이 달라지게 된다.
한쪽 베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적은 점차 커지게 되고, 다음 베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간용적은 최대가 된다. 이렇게 하여 흡기부로부터 빨아들인 공기는 다음 단계에서 압축이 되고 이것이 배기부를 지나면서 배출이 되는 것이다.
로타리 베인 펌프의 최대 진공도는 1+10Torr정도의 영역에 그치고 있으나, 루츠펌프 및 확산펌프와 연결되어 고진공이 요구되는 공정에도 다양하게 쓰이고 있으므로, 오늘날 산업 전반에 걸쳐 가장 널리 쓰이고 있고 기종이라 할 수 있다.

참고 자료

없음