[반도체 공학] pvd의 종류및 증착원리

목차

◉ PVD 란

◉ PVD 종류와 증착원리
(1) 열 증착법 (Thermal evaporation)
(2) 스퍼터링(sputtering)
1) DC 스퍼터링
2) RF 스퍼터링
3) Magnetron 스퍼터링
4) 반응성 스퍼터링
(3) PLD (Pulsed Laser Deposition)
(4) E-beam evaporation
(5)MOMBE (matalorganic molecular beam epitaxy)

◉참고문헌

본문내용

- 스퍼터링 (Sputtering)
- 전자빔증착법 (E-beam evaporation),
- 열증착법 (Thermal evaporation)
- 레이저분자빔증착법 (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy)
- 펄스레이저증착법 (PLD, Pulsed Laser Deposition)
- MOMBE (Metal-Organic Molecular Beam Epitaxy)

참고 자료

http://www.naver.com/ 지식인 검색
http://mst.ajou.ac.kr/PROF//LeeSoonil/lab_1.html
http://yu.ac.kr/%7Ehancycle/course_1.htm
http://blog.naver.com/min8230/20013129413
http://blog.naver.com/mh8974/3995964