[원자현미경]원자현미경

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원자현미경의 정의와 분류, 원리등을 쓴 글입니다,

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광학현미경의 배율이 최고 수천 배, 전자현미경(SEM)의 배율이 최고 수십만 배인데 비해 원자현미경의 배율은 최고 수천만 배로서, 개개의 원자를 관찰할 수 있는 분해능을 가지고 있습니다. 투과식 전자현미경인 TEM도 수평방향의 분해능은 원자단위이나 수직방향의 분해능은 훨씬 떨어져 개개의 원자를 관찰할 수는 없습니다. 원자현미경의 수직방향의 분해능은 수평방향보다 더욱 좋아서 원자 지름의 수십분의 일(0.01㎚)까지도 측정해 낼 수 있는 것으로 알려져 있습니다.
현재 원자현미경은 주로 연구용과 산업용 분석, 측정 기기로 쓰이고 있습니다. 연마된 광학렌즈나 증착막의 두께 및 굴곡도 측정에서부터 천연광석의 표면분석에 이르기까지 종래보다 더 작은 단위로 측정하려는 모든 곳에 활용되고 있습니다. 산업용으로는 반도체의 표면계측 및 결함 분석, 콤팩트디스크, 자기 디스크나 광 자기 디스크 등에 쓰인 비트의 모양새 조사 등에 쓰이고 있으며 최근 큰 성장을 보이고 있는 평판디스플레이(FED)의 제조공정 분석장비로도 활용되고 있습니다.

원자현미경은 진공상태나 대기 중 뿐 아니라 액체내에서도 작동해 살아있는 세포내의 구조나 세포분열 등을 관찰할 수 있습니다. 전자현미경이 진공상태에서만 가능하다는 것을 감안하면 원자현미경의 응용범위가 대단히 넓다고 할 수 있습니다. 원자현미경은 관찰, 측정에 그치지 않고 초소형로보트의 기능도 할 수 있어서 나노리소그래피(사진묘사), 나노머시닝(절삭), 나아가 분자의 합성 등의 연구에도 이용되고 있습니다.

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