[재료공학]DC Sputtering시 진공펌프의 종류

*은*

최초 등록일: 2005.11.18
최종 저작일: 2005.11; 4페이지/ 한컴오피스; 가격 1,000원

다운로드

장바구니

상세정보
자료후기 (0)
자료문의 (0)
판매자정보

소개글

DC Sputtering은 LCD제조에 있어서 아주 중요한 공정 중의 하나이다.DC Sputtering시에는 전자의 이동을 용이하게 하기 위해서 진공상태를 만들어줘야 하는데,거기에 필요한 진공펌프의 종류에 대해서 조사하였다.

본문내용

1.로타리 베인 펌프
일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본원리는 옆의 그림과 같다. 그림에서 보면 내부 구조가 로타 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로타의 중심과 실린더의 중심은편심되어 있다.베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀착된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이 생기게 되고, 이 공간은 로타의 회전에 따라 용적이 달라지게 된다.

참고 자료

없음

이 자료와 함께 구매한 자료

주의사항

환불정책

해피캠퍼스는 구매자와 판매자 모두가 만족하는 서비스가 되도록 노력하고 있으며, 아래의 4가지 자료환불 조건을 꼭 확인해주시기 바랍니다.

파일오류	중복자료	저작권 없음	설명과 실제 내용 불일치
파일의 다운로드가 제대로 되지 않거나 파일형식에 맞는 프로그램으로 정상 작동하지 않는 경우	다른 자료와 70% 이상 내용이 일치하는 경우 (중복임을 확인할 수 있는 근거 필요함)	인터넷의 다른 사이트, 연구기관, 학교, 서적 등의 자료를 도용한 경우	자료의 설명과 실제 자료의 내용이 일치하지 않는 경우

이런 노하우도 있어요!더보기

찾던 자료가 아닌가요?아래 자료들 중 찾던 자료가 있는지 확인해보세요

진공의 이해 58페이지

환경에서 사용되는 진공 장비의 저진공 Pump임 CVD, Sputter등 ... 플라즈마에칭/ PVD/PECVD/스퍼터링/ 증착/LCD/PDP/OELD우주공학신뢰성공학시스템공학품질관리정보공학기계공학로봇공학정밀공학핵물리학화학공학플라즈마공학원자물리학유체역학열역학저온공학재료공학표면공학생물물리학생물학생화학전자공학전자기학반도체물리학자동제어레이저 ... 진공의 이해진공이란 진공의 단위 및 분류 증착 장비 Magnetron Sputtering
진공 및 박막의 전제척인 개념 및 박막의 3가지 성장모델, CVD & PVD 비교 정리 8페이지

(그림)DC 스퍼터는 여러 종류의 금속에 대해서 증착속도가 일정하다. ... 진공이 우리에게 필요한 이유는 공학적으로 박막증착 할 때 깨끗한 환경을 ... 이온펌프는 주로 화학흡착으로 동작하는 흡수식 진공펌프이며 기계적 진동이 없으며
[공학]반도체 집적소자 제조 단위공정 실험 26페이지

이 때 진공펌프로 계속 배기하고 있기라 함은 PR의 일정 부분이 노광 되었을 ... 실험목적-반도체 전자소자 집적회로 공정공학(process engineering ... 유리는 사용범위가 넓고, 어떤 산화물이 들어 가는냐에 따라 수 백가지 종류로