[플라즈마]ICP 방출분광법

소개글

ICP는 아르곤 가스를 플라스마 가스로 사용하여 수정 발진식 고주파발생기로부터 발생된 주파수 27.13MHZ 영역에서 유도코일에 의하여 플라스마를 발생시킨다. ICP의 토오치(Torch)는 3중으로 된 석영관이 이용되며 제일 안쪽으로는 시료가 운반가스(아르곤, 0.4～2L/min)와 함께 흐르며, 가운데 관으로는 보조가스(아르곤, 플라스마가스, 0.58～2L/min), 제일 바깥쪽 관에는 냉각가스(아르곤, 10～20L/min)가 도입되는데 토오치의 상단부분에는 물을 순환시켜 냉각시키는 유도코일이 감겨 있다.

목차

1. 원리 및 적용범위
2. 개 요
3. 방출 분광법과 Plasma
3. 1 시료의 도입
3. 2 시료의 여기 및 발광

본문내용

1. 원리 및 적용범위
1964년 Greenfield 등에 의하여 ICP의 원자 분석 방법으로서의 가능성이 보고된 이래 이 분야는 원자 분석에서 가장 중요한 자리를 차지하게 되었다.
ICP(Inductively Coupled Plasma)란 고주파 유도 결합 플라즈마를 광원으로 사용한 방출 분광법(Emission spectroscopy)을 말한다. 종래의 방출 분광용 광원으로서는 arc 및 sparc 방전등이 사용 되었다. arc 방전은 분말시료의 분석 및 고순도 물질의 분석에, sparc 방전은 금속시료의 분석에 널리 사용되어 왔으며, 특히 후자는 고체 시료를 직접 들뜨게하여 신속하게 다원소 동시 분석이 가능하기 때문에 품질관리 분석에 많이 사용되었다.
그러나 이들 방법은 용액 시료에 대해서는 감도가 충분하지 않으므로 AAS (Atomic Absorption Spectrometriy)가 발전하면서 용액 시료를 방출 분광법으로 분석하는 경우는 거의 없었으며, 고체 시료의 분석에 있어서도 미량 성분 분석의 경우를 제외하고는 X-ray fluorescence가 보다 정밀한 분석이 가능하기 때문에 한 때는 방출 분광법이 거의 사용되지 않은 분석법으로 인식된 적도 있었다.
그러나 1960년 T.B. Reed에 의해 고안된 ICP가 여러 개발 과정을 거쳐 1977년부터는 상품화되어 방출 분광법이 사용되면서 다시 각광을 받기 시작하여 현재 그 분야가 급격히 늘어나고 있다. 시료를 고주파유도코일에 의하여 형성된 아르곤 플라스마에 도입하여 6,000～8,000。K에서 여기된 원자가 바닥상태로 이동할 때 방출하는 발광선 및 발광강도를 측정하여 원소의 정성 및 정량분석에 이용하는 방법이다.

2. 개 요
ICP는 아르곤 가스를 플라스마 가스로 사용하여 수정 발진식 고주파발생기로부터 발생된 주파수 27.13MHZ 영역에서 유도코일에 의하여 플라스마를 발생시킨다. ICP의 토오치(Torch)는 3중으로 된 석영관이 이용되며 제일 안쪽으로는 시료가 운반가스(아르곤, 0.4～2L/min)와 함께 흐르며, 가운데 관으로는 보조가스(아르곤, 플라스마가스, 0.58～2L/min), 제일 바깥쪽 관에는 냉각가스(아르곤, 10～20L/min)가 도입되는데 토오치의 상단부분에는 물을 순환시켜 냉각시키는 유도코일이 감겨 있다.

참고 자료

없음