[진공공학]진공 기술 기초

소개글

진공 (Vacuum)이란 ?
 라틴어의 `Vacua`에서 유래
 실제로 진공은 단지 부분적으로 비어 있는 공간을 의미
 대기압 (1 기압) 이하의 Gas로 채워진 공간을 말함
- 즉 2.5  1019molecular/cm3이하의 분자 밀도를 가지는 공간

목차

1. 진공 (Vacuum)이란 ?
2. 진공 & 압력 영역
3. 진공의 응용
4. 기체의 기본성질
5. 진공펌프의 종류
6. 게이지의 종류
7. 진공의 계산
8. 진공의 필요성
9. 진공 박막 방법

본문내용

진공 (Vacuum)이란 ?
 라틴어의 `Vacua`에서 유래
 실제로 진공은 단지 부분적으로 비어 있는 공간을 의미
 대기압 (1 기압) 이하의 Gas로 채워진 공간을 말함
- 즉 2.5  1019molecular/cm3이하의 분자 밀도를 가지는 공간

기체의 기본성질 (1/3)
 질량 : 어떤 물질에 포함된 1g 의 분자량
(수소원자의 중량 = 1.66 x 10-24 g => 수소 1 g = 6.02 x 1023 개)
 gas의 운동에너지와 온도
: 공간 속에 놓아둔 원자나 분자는 주위로부터 에너지를 흡수
: gas의 운동에너지는 충돌로부터 에너지를 잃거나 얻음

 평균속력 20℃ Ar gas = 3.94 x 104 cm/sec
 압력 : 단위 면적 당 받는 힘. (= nmv2/3)
 분압 : P = P1 + P2
 압력단위
1 기압 = 760 mmHg = 760 torr = 1013 mbar = 1.0 x 106 Pa = 14.7 psi
1 Pa = 1 N/m2 = 7.5 x 10-3 torr

기체의 기본 성질 (2/3)
 아보가드로 수(N0) : 0℃, 1 atm, 22.4 liter => 6.023 x 1023
 Number density of gases : STP => 2.7 x 1019 #/cm3
1 mtorr, l um3 => 35개

 Monolayer : 제곱 cm당 1층의 원자층이 생성될 때, 밀도(A g/cm3),
원자량 (B g/mole), 아보가드로 수 (N0 #/mole)
=> 부피밀도 = (밀도 x 아보가드로 수) / 원자량 = A N0 / B (#/cm3)
=> 1 cm 당 개수 = (A N0 /B)1/3, 층 높이 = (B/A N0)1/3
=> monolayer = (A N0 / B)2/3

ex) Ti 밀도 = 4.51g/cm3, 원자량 = 47.9g/mole
monolayer 개수 = 1.476x1015 개, monolayer 높이 = 2.6Å

참고 자료

없음