[나노]마이크로머신

목차

서론

본론
마이크로 머신 기술
마이크로 머신 제조기술 개요
마이크로 머신 가공기술
기술동향

결론

본문내용

서 론
반도체혁명은 놀라운 발전을 해왔지만, 주로 반도체칩의 처리능력에 국한된 것
앞으로 이루어질 반도체 혁명은 지금까지와는 성격이 다른 "새로운 기능"을 반도체칩 위에 결합시켜 나가는 것
반도체칩이 연산을 할 뿐 아니라 센서와 액추에이터, 통신장치가 되어 감지(sense)하고, 작동(actuate)하고, 통신(communicate)할 수 있게 되는 것
바로 이것이 마이크로머신 기술

마이크로머신 기술
시스템 이외 마이크로 구조물, 센서, 액추에이터, 마이크로 로봇 등을 포함하는 광범위한 분야에 걸쳐 응용
어떤 초소형 대상물을 지칭하는 것 외에도 초소형 대상물을 만드는 가공기술
 마이크로 머신(micro-machine) - 문자 그대로 작다는 의미(micro)와 기계(machine)라는 뜻이 내포
마이크로 머신에서의 관심은 중요치수(feature size)가 마이크로미터 단위인 기계전자 시스템

마이크로머신 제조기술 개요
1960년대 초, 실리콘 단결정을 화학적으로 이방성 식각공정(anisotropic etching)하여 얻어진 다이어프램막 위에 압저항(piezoresist)을 도핑하여 압력센서로 이용하고자 하는 연구로 시작
1970년대에는 이방성 식각공정을 이용한 캔틸레버(cantilever), 노즐(nozzle), 캐버티(cavity), 브리지 트렌치(bridge trench) 등과 같은 여러 가지 3차원 구조물 소자에 대한 연구가 시작

참고 자료

없음