[재료공학실험]진공 펌프

소개글

진공영역은 진공도에 따라 아래의 표와 같이 몇 가지로 구분되어 불리어지고 있습니다. 진공영역을 이 같이 구분하는 이유는 각 진공 영역에 따라 적용되는 공정이 달라지고, 펌프의 기종 또한 다르게 되기 때문이다

목차

■ 진공도에 따른 진공 영역의 구분
- 진공 영역별로 구분되는 공정 및 펌프의 기종
■ 저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프목
로타리 기어펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프 목
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
■ Reference

본문내용

■ 진공도에 따른 진공 영역의 구분
진공영역은 진공도에 따라 아래의 표와 같이 몇 가지로 구분되어 불리어지고 있습니다. 진공영역을 이 같이 구분하는 이유는 각 진공 영역에 따라 적용되는 공정이 달라지고, 펌프의 기종 또한 다르게 되기 때문이다

■ 저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
일반적으로 가장 많이 쓰이는 진공펌프로, 기본 원리는 옆의 그림과같습니다. 그림에서 보면 내부 구조가 로타 베인 및 실린더로 되어 있는데, 로타의 중심과실린더의 중심은 편심되어 있습니다 베인은 스프링 또는 원심력에 의해서 실린더 내면에 밀작된 상태로 돌아가게 되는데, 이때 베인과 베인 사이에 공간이 새기게 되고, 이 공간은 로타의 회전에 따라 용적이 달라지게 됩니다. 한쪽 베인이 흡기부를 지나면서 공간의 용적은 점차 커지게 되고 ,다음베인이 흡기부 끝단을 통과할 때 공간용적은 최대가 됩니다. 이렇게 하여 흡기부로부터 빨아들인 공기는 다음 단계에서 압축이 되고 이것이 배기부를 지나면서 배출이 되는 것입니다. 로타리 베인 펌프의 최대 진공도는 1+10Torr정도의 영역에 그치고 있으나, 루츠펌프 및 확산펌프와 연결되어 고진공이 요구되는 공정에도 다양하게 쓰이고 있으므로, 오늘날 산업 전반에 걸쳐 가장 널리 쓰이고 있고 기종이라 할 수 있습니다.

• 로타리 피스톤 펌프
흔히"키니펌프"라 불리어지고 있는 펌프로서 기본 작동 원리는 옆의 그림과 같습니다.
실린더의 중심과 편심이 되어있는 로타가 실린더의 축을 중심 으로 캠운동을 하고 있고, 피스톤이 로타의 표면에 밀착된 상태로 왕복운동을 하면서 실린더가 두 개의 공간으로 분할됩니다. 이 공간의 용적이 로타의 회전에 따라 수축, 확장을 반복하면서 공기를 흡입한 후 이를 다시 압축시켜 배출하는 것입니다.

참고 자료

<진공물리 및 진공기술> 안일신