Ubiquitous + Sensor (MEMS, NEMS)
- 최초 등록일
- 2006.10.26
- 최종 저작일
- 2006.03
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소개글
Ubiquitous + Sensor (MEMS, NEMS)
목차
1. MEMS의 정의
2. MEMS의 역사와 MEMS의 정의의 변화
3. MEMS의 전반적인 응용범위
4. MEMS의 특징
5. MEMS OVERVIEW
6. NANO 기술 시장 전망
7. MEMS에서 NEMS로
8. 결 론
9. 참고문헌
본문내용
1. MEMS의 정의
MEMS란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술 사업으로 진행되고 있는 기술개발 과제명은 초소 형 정밀기계 기술개발이라 부르고 있다. 현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가 공상소설의 영역을 벗어나 이제 현실공학의 새로운 분야로 정착 되었다. 한마디로 말해 개미와 같은 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 센서, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 마이크로 메커니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수mm에서 수nm까지에 이르며 수cm크기라 해도 마이크로 머신이라고 불리는 경우도 있다. 마이크로 머신의 아이디어가 제창된 초기에는 혈관 내를 돌아다니면서 환부를 치료할 수 있는 기계에 대한 구상도 있었다. 허나 지금 기존의 기계를 단순히 축소해야 마이크로 머신이 되리라는 생각은 이제 과거의 것이 되었다.
MEMS란 마이크로머신이 느끼고 생각하며, 운동 하는 시스템을 일컫는다. Micro Electro Mechanical Systems 라는 말로 한글로 표현하면, 미세 전기 기계 시스템 또는 미소 전기 기계 시스템 이라는 말이다. 전기와 기계 부품을 초소형으로 일체화하여 만드는 기술로 micro scale의 기계적인, 그리고 전기적인 구조체가 결합되어 새로운 기능을 하게 되는 system을 제작하는 것을 통틀어서 말한다고 하겠다. 다시 말하면, MEMS는 mechanical elements, sensors, actuators, 그리고 electronics를 우리가 잘 알고 있는 Si wafer 위에 microfabrication technology를 이용하여 만드는 것이라고 할 수 있다. Electronics는 integrated circuit(IC) process sequence(예를 들면 CMOS, Biopolar, BICMOS processes 등)를 이용하여 제작하는 반면, micromechanical component는 "micromachining" processes를 이용하여 제작되어진다. "Micromachining" processes 라고 하는 것은, Si wafer의 한 부분을 선택적으로 etching 하거나 mechanical 또는 electromechanical devices를 만들기 위한 새로운 구조체를 형성하는 processes를 말한다. MEMS는 모든 구조체를 micromachining technology를 이용하여 Si wafer 위에 제작이 가능하도록 하여 system을 하나의 chip에 제작할 수 있는 systems-on-a-chip의 실현을 가능하게 할 것이다. MEMS는 기본적으로 microsensors 와 microactuators를 이용하여 감지하고 control 하게 되는데, 이것들은 다양한 분야에 응용되어 질 수 있을 것이다.
참고 자료
① B. Loechel : The Electrochem. Soc. Interface, Fall, 43 (1995)
② G. T. A. Kovacs, et al. : Proc. IEEE 86, 1536 (1998)
③ B. W. Chui et al. : Appl. Phys. lett. 69, 2767 (1996)
④ 김상국,MIT “ MEMS/NANO 기술에 의한 기계기술의 변화 ”, KSME, 2002.
⑤ 메릴린치 The next small thing : An introduction to nanotechnology
⑥ Nanotechnology (Technology map), SRI
