스퍼터링

소개글

스퍼터링의 원리, 종류, 펌프와 이온게이지의 종류 및 작동원리까지 조사한 실험레포트입니다.

목차

1) 스퍼터링(sputtering)이란?

2) 스퍼터링의 원리
3) 스퍼트링의 종류
4) 펌프 (진공
5) 진공의 측정(게이지)

본문내용

2) 스퍼터링의 원리

스퍼터링 필름은 진공코팅필름의 한계를 극복하고 가장 진보된 최첨단의 필름 제조 기법이다. 진공탱크에 폴리에스테르 원단이 통과될 때 진공탱크내부에서 금속피막은 원자단위로 만들어지고, 탱크내의 화학적 불활성기체(아르곤등)가 전자장을 생성해서 금속 쪽으로 이온류를 흘려보낸다. 원자 당구라고 일컬어지는 이 이온폭격에 의해 원자들은 소규모 단위로 균열하며 고속으로 이동하여 필름 표면에 균일하게 흩어져서 침착하게 된다.

3) 스퍼트링의 종류

3-1) 유기화학증착법(MOCVD)

유기금속화합물의 열분해를 이용한 박막형성법으로 성장층의 조성, 특성의 정밀제어가 가능하다.
CVD는 반도체의 제조공정 중에서 가장 중요한 기술의 하나이다. 역사적으로는 1920년대에 고순도의 금속을 얻는 방법으로 요오드(iodine)법이 등장햇고, 1940년대부터는 고순도 게르마늄, 실리콘의 제조법 등의 반도체공업에 깊은 관계를 갖게 되었고,

4-4) 그밖의 펌프
Stream ejecter 펌프: 확산 펌프와 비슷한 원리로 기름대신에 고속의 수증기를 이용하고 수Torr까지 사용이 가능하다.
Water jet 펌프: 수압을 이용하여 간단한 진공 또는 흡입 장치로 사용하는데, 유속이 빠른 곳에서 압력이 낮아진다는 베르누이 정리를 이용한 방법이다.


5) 진공의 측정(게이지)

5-1) 진공 게이지의 분류

진공게이지는 그 기능별로 여러 가지로 분류가 가능하다.

참고 자료

① 안일신, ‘진공물리 및 진공기술’, 한양대학교 출판부, 1999
② http://tipp.sunchon.ac.kr/ver2/02dir/sputtering.html
③ http://www.defense.co.kr/method4.php
④ http://cera.knu.ac.kr/labs/cml/frameset.htm(경북대학교 박막공학연구실)
⑤ http://psel.snu.ac.kr(서울대학교 플라즈마 표면공학연구실)
⑥ 박막공학의 기초, 2001, 일진사, 최시영외