전자 현미경의 원리와 기능에 따른 분류(SEM,TEM, XPS, AES, EDS, STM)

소개글

전자현미경의 기본원리를 알며, 광학 현미경의 원리를 비교하여 본다. 또한 전자 현미경의 종류에 따른 구조, 원리, 분해능, 응용등 그 밖에 기반 관련 자료를 담고 있다. 전자 현미경은 우리 눈에 보이지 않는 미세구조의 세계의 표면정보, 결정학 정보, 화학 정보를 제공해 주며, 이는 미세화의 급속한 발전에 따라 그 쓰임이 더욱 확대되어 가고 있다.
이는 공학도로써 표면 분석이라는 측면에서 꼭 알아야 한다.
전자 현미경 수업시간에 A+ 받은 레프트 입니다. 교수님이 자료가 좋아서 수업자료로도 썼던 자료입니다.

목차

1.전자현미경의 정의 및 기능

2.전자현미경의 종류와 응용
1>SEM(주사전자현미경)
2>TEM(투과전자현미경)
3>XPS(ESCA)
4>AES
5>EDS
6>STM

3.참고문헌

본문내용

1. 전자 현미경의 정의 및 기능
1>전자현미경의 정의
① 전자 현미경이란 맨 눈으로 보지 못하는 것을 보는 것이다. 광학 현미경으로 보지 못하는 재료의 미지의 분야를 관찰함으로써 희소가치를 가진 정보를 얻는 것이다.
즉, 눈에 보이지 않는 재료정보를 아는 것이다. 재료의 기계적, 전기적, 열적, 광학적 성질과 같은 재료특성분석을 하는 것이 아니라, 표면 분석, 결정 구조 분석과 같은 재료의 기초물성을 분석하는 것이다. 또한 재료에서 얻고자 하는 정보에 따라 사용되는 전자현미경의 종류는 달라지고, 특정 전자현미경을 사용하였을 경우에는 원하는 정보를 얻고 이를 해석, 판독 하여야 한다. *1

2>전자현미경의 기능
◈분석목적에 따른 분류*3
① Topography
- 물체의 표면의 형상(texture), 미세구조와 hardness, reflectivity등의 물성 과의 연관성을 알 수 있다.
② Morphology
- 물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기, ductility, strength, reactivity등의 물성과의 직접적인 관계를 알 수 있다.
③ Compostion
-물체를 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 상대적인 양, melting point, reactivity, hardness등 재료의 물성과 조성과의 관계를 규명한다.
④ Crystallographic Information
-재료내의 원자들의 배열상태, Conductivity, electrical properties, strength 등의 재료고유 물성과 원자배열과의 관계연구를 한다.

참고 자료

*1. 김형택 교수님 수업자료
*2. 네이버 백과사전
*3. http://blog.naver.com/bebe78/40019437003
*4. 김형택 교수님 수업자료
*5 http://mybut.net/juuny/file/sem
반도체 공정분석 인력양성 교육 수업자료
www.snurips.ac.kr
*6 초고전압 투과현미경 홈페이지
김형택교수님 수업자료
반도체 공정분석 인력양성 교육 수업자료
http://tempark.hihome.com/tem.html