MEMS란

소개글

MEMS란?
기계와 전기등 다방면의 기술이 관련된 Micro feature size를 갖는 시스템을 다루는 학문이다. MEMS란 용어는 미국에서 처음 사용하기 시작하였으며 지금은 전세계적으로 통용되게 되었다. 유럽에서는 MST(Micro System Technologies)라는 용어를 사용하여 MEMS관련분야를 지칭하기도 하며, 일본에서는 micromachines, micromechatronics란 용어를 사용하고 있다. 최근에는 다양한 학문분야의 요소기술이 집적되어 System이 완성되는 것임을 강조하여 microsystems란 용어를 사용하기 시작하였다. MEMS란 Micro 시스템, Micro 머신, Micro 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역 하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다.

목차

MEMS란?
1. MEMS 기술의 개요
2. MEMS 공정 기술
3. MEMS 기술의 응용
4. MEMS 시장의 현황 및 예측
5. MEMS 기술의 발전 방향

본문내용

MEMS란?
기계와 전기등 다방면의 기술이 관련된 Micro feature size를 갖는 시스템을 다루는 학문이다. MEMS란 용어는 미국에서 처음 사용하기 시작하였으며 지금은 전세계적으로 통용되게 되었다. 유럽에서는 MST(Micro System Technologies)라는 용어를 사용하여 MEMS관련분야를 지칭하기도 하며, 일본에서는 micromachines, micromechatronics란 용어를 사용하고 있다. 최근에는 다양한 학문분야의 요소기술이 집적되어 System이 완성되는 것임을 강조하여 microsystems란 용어를 사용하기 시작하였다. MEMS란 Micro 시스템, Micro 머신, Micro 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역 하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술 사업으로 진행되고 있는 기술개발 과제명은 초소형 정밀기계 기술개발 이라 부르고 있다. 현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가 공상소설의 영역을 벗어나 이제 현실공학의 새로운 분야로 정착 되었다. 한마디로 말해 개미와 같은 Micro 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 즉 개미의 눈이나 촉각에 해당하는 각종 Sensor, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에 대응하는 Micro Mechanism , 그것을 움직이게 하는 Micro Actuator를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수mm에서 수nm까지에 이르며 수cm크기라 해도 Micro Machine이라고 불리는 경우도 있다.Micro Machine의 아이디어가 제창된 초기에는 혈관 내를 돌아다니면서 환부를 치료할 수 있는 기계에 대한 구상도 있었다. 허나 지금 기존의 기계를 단순히 축소해야 Micro Machine이 되리라는 생각은 이제 과거의 것이 되었다.

1. MEMS 기술의 개요
MEMS 기술은 전자(반도체)기술, 기계 기술, 그리고 광 기술 등을 융합 하여 마이크로단위의 작은 부품 및 시스템을 설계, 제작하고 응용하는 기술을 일컫는다. Size domain 상으로는 최소수 밀리 이상의 종래의 기계 부품이나 시스템 보다는 작고, 나노(nm) 영역인 분자 소나 탄소 나노 튜브보다는 큰 영역인 마이크로 영역에 해당하며, 이보다 한 수준 더 scale-down 된 분야는 NEMS(Nano-Electro-Mechanical Systems)로 구분하고 있다.

참고 자료

없음