에천트 시장조사 보고서

*종*

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최초 등록일: 2007.03.05
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저희 조에서 조사한 에천트에 대한 시장조사 내용입니다.
기본 지식에 대한 이해도를 높이고, 공정에 대한 이해를 높이는데 유용합니다.

본문내용

에칭액의 종류 (반도체용)

SiO2
HF(49% in H2O)
NH4F:HF(6:1)
Si에 대해 선택적으로 SiO2제거. 에칭속도는 SiO2 박막의 밀도 및 도핑에 따라 변함

Si3N4
HF(49%)
H3PO4:H2O
에칭속도는 Si3N4 박막의 밀도 및 O,H농도에 따라 변화함.
SiO2에 대해 선택적으로 Si3N4 제거

Al
H3PO4:H2O:HNO3:CH3COOH (16:2:1:1)
Si, SiO2, 포토레지스트에 대해서 선택적으로 Al 제거

Poly-Si
HNO3:H2O:HF(50:20:1)
에칭속도는 에칭용액의 조성에 따라 변화

단결정 Si
HNO3:H2O:HF
KOH:H2O:IPA
에칭속도는 에칭용액의 조성에 따라 변화
결정학적 방향에 따라 선택적인 에칭 가능

참고 자료

반도체 제조업체 홈페이지 및 관련 잡지

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