UHV 시스템에서 사용되는 5가지 펌프

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신소재 공학과에서 부식공학에 대한 부분입니다.

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본문내용

Five types of pumps used commonly in UHV systems

① 확산 펌프(Diffraction Pump)
- 액체(일반적인 확산유)를 가열하여 증발시킨 다음이를 노즐을 통해 고속으로 분사 시킴으로써, 이때 충돌하는
공기입자를 아래로 끌어 내려 보조펌프(일반적으로 로타리베인 펌프)를 통해 배출시키는 것이다.
이 기종의 펌프들은 대체로 구조가 간단하다. 간단한 기계적인 운동을 하지 않으므로 사용이 간편하여, 고진공을
얻는데 많이 사용되고 있다. 그러나 다른 고진공용 펌프와 같이 보조 펌프를 써야한다.

② 이온 펌프(Ion Pump)
- 이 펌프는 자기장 내의 방전에 의해서 기체를 이온화하고, 이것을 음극면에 모아 배기하는 펌프를 의미한다.
도달진공도가 10-11 정도로 낮고, 기름이나 수은을 사용하지 않으므로 통 속을 더럽히지 않는 것이 특징이다.
티탄 등이 게터(가스 등을 흡착하여 진공도를 높이는 것)로서 작용하는 것을 이용한 스패터이온펌프나 서블리메이션
펌프가 실용화되고 있다.

참고 자료

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