노광공정 및 식각공정

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최초 등록일: 2007.05.09
최종 저작일: 2007.03; 29페이지/ MS 파워포인트; 가격 2,500원

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노광공정 및 식각공정에 관해서 PPT 파일로 요약정리 했습니다
그림을 적절히 삽입하여 이해하기 쉽도록 되어있습니다.
28장 분량으로 요약해 놓았습니다

본문내용

Etching(식각)이란 물리적, 화학적인 반응을 이용하여 Glass 상에 PR에 의하여 형성된 Pattern대로 박막을 선택적 제거함으로써 실제의 박막 Pattern을 구현하는 방법Pattern이 형성된 부분의 박막은 남게 되고 PR이 없는 부분의 박막은 제거된다
습식 식각(Wet Etching)
식각 용액(액체)에 웨이퍼를 넣어 액체-고체
화학반응에 의해 식각이 이루어지게 함.

소자의 최소선 폭이 큰 LSI 시대에 범용으로 쓰임

VLSI, ULSI 소자에는 집적도의 한계 때문에 거의 사용되지 않고 있음

참고 자료

없음

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