진공의 원리와 진공펌프 및 게이지

소개글

진공에 관해서 PPT 파일로 프리젠테이션이 가능하도록 만들었습니다.

목차

진공의 원리

진공의 단위

저진공, 중진공, 고진공

진공펌프의 종류

진공 게이지

본문내용

진공의 정도는 일반적으로 진공 용기속에 남아 있는 기체의 압력으로 표현되는데 우선 압력을 직접 측정하는 경우와 기체가 지닌 다른 물리적 특성(열, 전기적 성질 등)을 이용하여 간접적으로 측정하는 방법이 있는데 민감도가 후자의 경우다 더 좋으므로 대부분의 진공 게이지, 즉 압력계는 기체가 가진 열 또는 전기적 특성을 이용하고 있다. 이들 물리량은 나중에 보정과정(calibration)을 통하여 압력으로 변환된다.
하지만 이러한 물리적 특성이 기체마다 다르므로 대부분의 경우 질소에 대한 압력으로 눈금이 보정되어 있다. 따라서 종류가 다른 기체를 사용하거나 혼합된 기체를 사용할 때는 따로 보정값을 찾아 그 기체의 압력으로 변환하든지 하여야 올바른 기압을 측정할 수 있다.

1. 진공 게이지의 분류
진공게이지는 그 기능별로 여러 가지로 분류가 가능하다.

․측정 기체의 구분 여부에 따라

- 전압 측정(total pressure measurement) : 대부분의 게이지가 이에 해당하는데 압력을 발생시킨 기체의 종류에 대한 정보는 알지 못한다.

- 분압 측정(partial pressure measurement) : 기체의 구성원소별 압력 또는 밀도를 측정 한다.

․측정한 물리량이 압력인지 아니면 압력으로 변환 가능한 다른 물리량인가에 따라

- 직접 측정(direct measurement) : 측정값이 압력인 경우이다.

- 간접 측정(indirect measurement) : 다른 물리적 특성을 측정하여 압력으로 환산해야 하는데 기체에 따라 측정한 물리적 특성이 다르므로 주의가 필요하다. 진공작업에서 사 용하는 대부분이 이에 속한다. 열전도성, 이온화 정도, 전기전도성 등을 측정한다.

․작동 압력의 범위에 따라

- 저진공 게이지

- 고진공 게이지

참고 자료

진공기술센터