[공학기술]FIB, SEM, TEM이란 무엇인가.

소개글

FIB와 SEM, TEM에 관해 비교 분석한 PPT 파일입니다.
오피스 2007로 만들었으며, 반도체 산업에 중요하게 쓰이고 있기 때문에
공부할때 참고 하시면 됩니다.

목차

FIB(Focus Ion Beam)의 개요
- 광원 (빛의 발생원)
- 광학계(光學系)
- Focus Ion Beam의 조사(照射)
SEM(Secondary Electron Microscope)의 개요
- SEM의 원리
- 선원(線源)
TEM(Transmission Electron Microscope)의 개요
- 초고압전자 현미경(超高壓電子顯微鏡

본문내용

Focus Ion Beam장치는 집속 빔을 시료 표면에 주사해서 발생하는 2차이온등을 검출해서 현미경상을 관찰 또는 시료 표면을 가공하는 장치 입니다.
Secondary Electron Microscope장치는 전자현미경의 일종입니다. 전자 빔을시료 표면에 주사해서 발생하는 2차 전자, 반사전자, 투과전자 X선, 음극선,내부 기전력 등을 검출하여 대상시료를 관찰합니다. 보통 2차 전자상 관찰에 이용됩니다.
Transmission Electron Microscope장치는 전자현미경의 일종입니다. 관찰시료에 전자선을 대어 그것을 투과하여 보여주는 장지입니다.

참고 자료

없음