mbe(molecular beam epitaxy) 원리와 특징

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최초 등록일: 2007.06.11
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진공 증착 장비중 mbe(molecular beam epitaxy)의 원리와 특징에 대한 PPT자료입니다..

본문내용

Epitaxy란 무엇인가?(1)
Epi와 taxy로 이루어진 단어.
- epi : on
- taxy : arrange, order 를 의미함.
기판 위에 기판의 결정축과 어떤 관계를 갖고 있는 다른 물질을 결정축에 맞추어 퇴적시키는 것.

MBE의 정의(1)
10-10 Torr 이하 초고진공 상태의 적정온도에서 결정 작용으로 생긴 표면과 박막을 구성하는 요소의 분자 빔 사이의 작용에 의해 박막을 성장시키는 방법.

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