[공학기술]오염입자 측정 실험

소개글

오염입자 측정 실험 내용입니다.

목차

1. 실험목적
2. 배경이론
3. 실험방법
4. 결과 및 토의
1) 입자발생 원인
2) 영향
3) 측정장비 - 관성임팩터, 광학입자계수기, DMA, 응축핵계수기, SMPS
4) 입자 분포
5) 입자 줄이는 방법
5. 참고문헌

본문내용

1. 실험목적
디스플레이나 반도체 공정 중에서 공기 중의 입자의 양은 품질에 많은 영향을 준다. 공기 중의 입자수를 낮춤으로써 불량률을 낮출 수 있다. 이번 실험에서는 공기 중의 공기 입자를 실제로 측정해보고, 생활공간의 입자 수와 디스플레이나 반도체 공정이 이루어지는 clean room, 그리고 연구실의 실험값을 비교해 본다. 또한 이 과정을 통하여 입자의 발생원인과 측정 장비에 대하여 알아본다.
2. 배경이론
 먼지(Dust) = 입자 = Particle = 이물(사업체에서 사용) = Aerosol(스프레이 분사)
 Clean Room
공기 중 부유입자의 공도를 제어하고, 입자의 유입․생성 및 체류를 최소화 할 수 있는 방
온도, 습도 및 압력등이 제어

1. 실험방법
● 입자 측정
더스트 모니터를 이용하여 입자의 수를 측정한다. 1분에 한번씩 10번 측정한다. 더스트 모니터는 sizequf로 수량 카운터 하며, 300nm에서 20μm까지 크기의 입자까지 측정 가능하다.

참고 자료

공기정화시스템을 적용한 실공간 내 오염입자 분포 및 제거 특성에 관한 연구, 구정환, 2001