[공학]플라즈마의 첨단기술 응용분야

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최초 등록일: 2007.06.23
최종 저작일: 2007.05; 14페이지/ 한컴오피스; 가격 1,000원

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플라즈마의 첨단기술 응용분야
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본문내용

▶ 플라즈마는 수만도 정도의 온도와 109 ~ 1010 /㎤의 밀도를 갖는 저온 글로우 방전 플라즈마와 수천만도 이상의 온도와 1013 ~ 1014 /㎤ 의 밀도를 갖는 초고온 핵융합 플라즈마로 크게 구별할 수 있다.
이중 공업적으로 이용이 활발한 플라즈마는 저온 글로우 방전 플라즈마로서 반도체 공정에서 플라즈마 식각(plasma etch) 및 증착 (PECVD : Plasma Enhanceed Chemical Vapor Deposition), 금속이나 고분자의 표면 처리, 신물질의 합성 등에서 이용되고 있으며, 공정의 미세화, 저온화의 필요성 때문에 플라즈마 공정이 종래의 공정을 대체하고 있으며, 경우에 따라서는 플라즈마만이 제공할 수 있는 물질이나 환경을 이용하기 위한 응용분야가 점점 더 확대되고 있다.

▷ 신소재 합성 - 종래의 초고압, 고온에서 얻어지던 인조 다이아몬드가 플라즈마를 이용한 기상 증착법에 의해, 특히 박막 형태로 얻어지고 있으며, 이종 기판상 단결정 다이아몬드 성장이 가능해질 경우 극한 상황에서도 동작하는 반도체 소자나 청색 발광 다이아몬드 등과 같은 획기적인 이용분야가 전개될 전망이다.

▷. 고분자의 표면처리 - 고분자 재료의 소수성, 친수성, 염색성, 접착성 등을 개선하여 이들에 의해 만들어지는 섬유나 재료의 기능을 향상시킬 수 있다.

▷ 조명 장치
플라즈마는 내부에 여기된 원자, 분자를 많이 갖고 있기 때문에 많은 빛을 낼 수 있어 매우 유효한 광원이 될 수 있으며, 태양은 자연으로 존재하는 일종의 위대한 플라즈마 조명원이다. 가장 전형적인 플라즈마

참고 자료

www.naver.co.kr
www.google.com
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