[공학기술](PPT)WDS

소개글

WDS의 정의, 원리 및 구성, X-선 검출 이론, 장점과 단점, 에너지 분해능, 스펙트럼, 정성분석, 정량분석, ZAF 보정, 다양한 분석결과

목차

1. WDS의 정의
2. WDS의 원리 및 구성
3. WDS X-선 검출 이론
4. WDS의 장점과 단점
5. WDS의 에너지 분해능
6. WDS 스펙트럼
7. WDS 정성분석
8. WDS 정량분석
9. ZAF 보정
10. 다양한 분석결과

본문내용

-WDS란?
- 전자현미경에서 발생한 x-ray 신호를 파장 detector로 검출하여 시료 중 함유된 화학적 성분을 분석하는 장비
- 파장의 함수로 특성 X-선의 검출
- Bragg회절에 의한 X-선의 파장으로 분별
- X-선의 검출에 특정한 단결정(LiF, PET, TAP등) 이용

정성분석과정
1. 파장이 가장 짧은 결정의 스펙트럼부터 시작:
finding first order (n=1) peaks.
2. LiF crystal scan에서 Highest-intensity peak를 먼저 선택함
3. 원소의 규명: 전 X-선 스펙트럼을 대상으로 X-선 family의
first-order members 위치 결정
각 first-order peak와 관련된 higher-order peaks
4. 다음 규명되지 않은 high-intensity, low-wavelength peak.
고려사항: 저 파장 결정 (LiF)의 영역 밖에 parent Ka peak (n=1)
satellite line

참고 자료

없음