[공학기술]MEMS에 관한 보고서

소개글

멤스의 정의,변화ㅡ역사,응용분야,전망등을 조사한 보고서입니다.

목차

1. MEMS 의 정의
2. MEMS 의 장점
3. MEMS 의 역사와 정의의 변화
4. MEMS 실용화의 어려운 점
5. MEMS 제조 공정 기술
6. 재료 공학으로 접근
7. MEMS 의 사용과 응용 분야
8. MEMS 기술 시장의 전망

본문내용

2. MEMS의 장점
[그림 3] 작은 기어 모형MEMS의 장점으로 몇 가지를 들 수 있다. 첫째로, MEMS의 공정은 반도체 제작공정을 이용하므로 초소형으로 제작할 수 있으며 일괄 공정에 의한 대량생산이 가능하다. 미소광학 및 극한소자를 이용하여 자기 및 광헤드와 같은 각종 정보기기 부품에 응용하며, 여러 종류의 마이크로 유체제어기술을 이용하여 생명의학 분야와 반도체 제조공정 등에도 응용한다.
둘째로, 기계부품과 센서, 전자회로 등을 한 칩에 집적하여 높은 신뢰도를 얻을 수 있다.
셋째로, 작은 소자를 이용하여 미량의 물질을 다루거나 분석할 수 있고, 다수의 소자를 집적하여 분석시간을 대폭 줄일 수 있다.
마이크로머신은 그 역할에 따라서 감지 소자의 기능을 하는 마이크로 센서, 구동장치인 마이크로 액추에이터 및 기타 에너지의 전달 역할을 하는 미니어처 기계 등으로 나눌 수 있다. 마이크로머신은 주로 미국과 일본을 중심으로 그 연구개발이 진행 되어 왔는데, 1987년 미국 캘리포니아대학 버클리교의 연구팀은 지름이 /10nm 정도의 기어를 제작하는데 성공했으며, 그 후 미국 MIT 연구팀은 지름 1/10nm정도 크기의 모터를 만들었다. 마이크로 머신은 우선 의료 분야에 그 응용이 가장 기대되는데, 마이크로 로봇을 체내에 투입하여 특정지역의 진단(예: 위 내시경을 대체)에 사용될 수 있다. 또, 미세한 수술을 수행하거나 약제를 정확한 위치에 방출함으로써 수술을 대신해 치료법에 획기적인 전기를 마련할 수 있다.
그 외에 산업용으로도 복잡한 배관 등의 시스템의 청소. 수리 등에 이용할 수 있으며, 사람의 접근이 곤란한 원자력발전소 내의 특정지역 등에서 미세한 작업을 수행할 수 있다. 군사용으로는 첩보 수집용등으로 개발이 진행되고 있다. 특히 미국에서는 미국과학재단에서 1988년부터 19개 연구기관에 연구비를 지원하고 있을 정도로 관심이 높다.

참고 자료

없음