[공학기술]박막 공정,PVD,증착,진공증착,스퍼터링 보고서

소개글

박막 공정 THIN-FILM PROCESS 에 대한 보고서입니다
(PVD,증착,진공증착,스퍼터링에 대해서도)

목차

1.박막공정 6p
1.1. 박막공정의 정의 7p
1.2. 박막공정의 과정 7p
2. 세척 7p
3. 증착 8p
3.1. 증착의 정의 9p
3.2. 증착의 종류 9p
3.3. 증착의 요구 조건 11p
4. PVD 12p
4.1. PVD의 정의 12p
4.2. PVD의 특성 14p
4.3. 진공증착법 16p
4.3.1. 진공증착법-열 증발 증착법(순수저항이용) 20p
4.3.2. 진공증착법-열 증발 증착법(유도열이용) 21p
4.3.3. 진공증착법-전자빔 증발 증착법 22p
4.4. 스퍼터링- 음극스퍼터링(cathode sputtering) 24p
4.4.1. 직류스퍼터링(DC sputtering) 34p
4.4.2. 고주파 스퍼터링(RF sputtering) 37p
4.4.3. 반응성 스퍼터링(reactive sputtering) 38p
4.4.4. 이온빔 스퍼트링(Ion Beam Sputtering) 39p
4.4.5. Bias Sputtering 39p
4.5. 이온도금 40p
4.6. 이온 빔 증착 40p
5. CVD(Chemical Vapor Deposition) 41p
5.1. LPCVD 47p
5.2. PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 48p
5.3. APCVD 50p
6. 분자빔 결정법(MBE) 51p
7. 박막 증착의 예 53p
7.1. 실리콘 박막 트랜지스터(TFT) 53p
8. PVD와 CVD의 차이 비교 55p
9. 증착법의 실제 적용 분야 56p
9.1. 증착법의 기술전망 60p
10. 포토리소그래피 63p
11. 식각 66p

본문내용

1. 박막 공정
최근에는 덩어리재료(Bulk materials)에는 없거나, 혹은 나타나기 어려운 물성을 얻기 위하여 덩어리 재료인 기판(Substrate)위에 박막(Thin Film)을 성장시키고 이용하고자 하는 연구가 큰 관심을 끌고 있다.
1.1 박막공정의 정의
박막 공정이란 박막 증착과 포토리소그래피 기술을 이용하여 원하는 형상의 회로를 형성하는 일련의 과정을 말한다. Thin film deposition이라 함은 증착하고자 하는 물질(metal, dielectric, insulator, polymer 등)을 수 십 ~ 수 천 Å(1 Å = 10-4 micron) 두께로 특정 기판 상에 올리는 일련의 과정을 지칭하며 이러한 방법으로는 thermal evaporation(열 증착), e-beam evaporation(e-beam 증착), sputtering, CVD(화학증착), MOCVD, MBE 등이 있다. Thin film deposition과 더불어 thin film process의 핵심이라 할 수 있는 photolithography란 사진 현상 및 식각 기술을 이용하여 deposition되어 있는 film을 미세 회로 형상으로 구현하는 일련의 과정을 뜻한다. 이 외에 부가적인 공정으로는 plating(도금), dicing, drilling, trimming 등이 있으나 궁극적으로 이러한 부가 공정은 thin film process를 의미하지는 않는다.
박막의 응용범위는 상당히 넓으며, 많은 경우 박막은 하나 이상의 유용한 특성을 동시에 갖는다.
박막의 기능성은 다양한 박막재료들로부터 혼합박막이나 다층박막을 만듬으로써 더욱 더 다양해진다. 혼합박막의 예로써는 금속과 유전체의 혼합박막 혹은 유전체와 유전체의 혼합박막들을 쉽게 떠올릴 수 있는데, 필요에 따라 전도도, 흡광계수, 굴절율, 결정성 등의 물성을 조성물질의 혼합비 조절에 따라 바꾸어 줄 수 있다. 이와 같은 혼합박막들은 일종의 비평형상으로써 구성물질들의 물성과 전혀 다른 특성을 나타낼 수 있다. 가장 잘 알려진 다층박막의 예로써 굴절율이 높은 물질과 낮은 물질을 수십에서 수백층까지 교대로 쌓는 광학 간섭필터가 있으며, 최근 많이 연구되고 있는 초격자(superlattice)도 다층박막의 한 예이다.

참고 자료

- 만도 생산기술팀
- http://www.ofthinfilm.com/thinfilm/thinfilm.htm
- 반도체 관련 정보 토탈 서비스 http://www.semipark.co.kr/
- 아주대학교 대학원 분자과학 기술학과 http://mst.ajou.ac.kr/
- http://tooltech.co.kr/form.html
-충남대학교 지능생산 및 자동화 실험실 http://imal.cnu.ac.kr
-서울대학교 컴퓨터 전자공학부 nml.snu.ac.kr
-목원대학교 전자공학과 홈페이지
-<박막 프로세스의 기초> ,김원찬 저 ,피어슨에듀코리아, 2000년-